El·lipsometria ràpida i espectroscòpica per a la caracterització de capes fines

Main Article Content

Joan Antó i Roca
Enric Bertran Serra
Josep Lluís Morenza i Gil

Article Details

Com citar
Antó i Roca, Joan et al. “El·lipsometria ràpida i espectroscòpica per a la caracterització de capes fines”. Butlletí de les Societats Catalanes de Física, Química, Matemàtiques i Tecnologia, vol.VOL 9, no. 1, pp. 53-58, https://raco.cat/index.php/ButlletiSCFQMT/article/view/150129.