El·lipsometria ràpida i espectroscòpica per a la caracterització de capes fines
Article Sidebar
Citacions a Google Acadèmic
Main Article Content
Joan Antó i Roca
Enric Bertran Serra
Josep Lluís Morenza i Gil
Article Details
Com citar
Antó i Roca, Joan et al. “El·lipsometria ràpida i espectroscòpica per a la caracterització de capes fines”. Butlletí de les Societats Catalanes de Física, Química, Matemàtiques i Tecnologia, vol.VOL 9, no. 1, pp. 53-58, https://raco.cat/index.php/ButlletiSCFQMT/article/view/150129.
Articles més llegits del mateix autor/a
- Joaquim Andreu Álvarez, Juan Carlos Delgado Nieto, Joan Esteve Pujol, José Luis Andújar Bella, Josep Lluís Morenza i Gil, Georges Sardin Charles, Plasma de silà a baixa pressió per a la producció de silici amorf hidrogenat , Butlletí de les Societats Catalanes de Física, Química, Matemàtiques i Tecnologia: Vol. 9 Núm. 1 (1989): V Trobada sobre recerca experimental en física i química en el camp de la ciència de materials. Prada,